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国家知识产权局信息数据显现，托普斯（常州）精密机械有限公司请求一项名为“光刻机加工用恒温恒湿设备”的专利，公开号CN121209213A，请求日期为2025年9月。
专利摘要显现，本发明触及恒温恒湿设备范畴，特别触及光刻机加工用恒温恒湿设备，机体内部装备有冷水盘管，冷水盘管上方顺次装备有热水盘管、设备箱、电加热板、加湿器。本发明中，仅需在预热舱中会集升温后，舱内流转的欢腾清水在水泵组件作用下于设备箱、热水盘管、预热盘管间循环，以进步机体内全体水温，进步加热作用，一起经过欢腾气体驱动涡轮组织，联动横流风机运转，将预热盘管的热量输送至进风风箱完成预热，有用合作设备余热来构成多重加热机制，大大下降设备于低温工况下的全体加热功耗，保证预热作用安稳。
天眼查资料显现，托普斯（常州）精密机械有限公司，成立于2021年，坐落常州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。经过天眼查大数据分析，托普斯（常州）精密机械有限公司产业线条，此外企业还具有行政许可6个。
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